PVD - перевод на русский
ГРУППА МЕТОДОВ НАПЫЛЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ, ПРИ КОТОРЫХ ПОКРЫТИЕ ПОЛУЧАЕТСЯ ПУТЁМ ПРЯМОЙ КОНДЕНСАЦИИ ПАРА НАНОСИМОГО МАТЕРИАЛА
Физическое осаждение из газовой фазы; PVD; PVD-процесс
PVD
(англ.)
(
phisical vapor deposition
) физический метод осаждения покрытий из газовой фазы
Википедия
Вакуумное напыление
Вакуумное напыление (англ. physical vapor deposition, PVD; напыление конденсацией из паровой (газовой) фазы) — группа методов напыления покрытий (тонких плёнок) в вакууме, при которых покрытие получается путём прямой конденсации пара наносимого материала.
Различают следующие стадии вакуумного напыления:
- Создание газа (пара) из частиц, составляющих напыление;
- Транспорт пара к подложке;
- Конденсация пара на подложке и формирование покрытия;
